潔淨室的（de）分（fèn）類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣（qì）由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室，並由（yóu）潔淨室兩側隔間牆（qiáng）板或高架地板回風（fēng）。氣流非直線型運動而呈不（bú）規則之亂流或渦流狀態（tài）。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。

　　優（yōu）點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易，在（zài）某些（xiē）特殊用途場所（suǒ），可並用無塵工作台，提高潔淨（jìng）室等（děng）級。

　　缺點：亂流造成的微塵（chén）粒子於室內空間飄浮（fú）不易（yì）排出，易汙染製程產品。另外（wài）若係統停止運轉再激活，欲（yù）達需求（qiú）之潔淨度（dù），往往須耗時相（xiàng）當長一段時間。

　　2.層流式（shì）(Laminar)：

　　層（céng）流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內（nèi），並由（yóu）高架地板或兩側隔牆板回風，此型式適用於（yú）潔淨室等級需定較高之環（huán）境使用，一（yī）般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空（kōng）氣自過濾（lǜ）器單方向吹出，由對邊牆壁之回風係統（tǒng）回風（fēng），塵埃隨風向排（pái）出室外，一（yī）般在下流側汙染較嚴重。

　　優點：構造簡單，運（yùn）轉後（hòu）短（duǎn）時間內（nèi）即可變（biàn）成穩定。

　　缺（quē）點：建（jiàn）造費用比（bǐ）亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由（yóu）上往下吹，可得較（jiào）高之潔淨度，在製程中或工作人員所

　　產生的塵埃可快（kuài）速排（pái）出室外而不會（huì）影響（xiǎng）其它（tā）工作區域。

　　優點：管理容易（yì），運轉開始短時間內即可達穩定狀（zhuàng）態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

　　缺（quē）點：構造費用較高，彈性運用（yòng）空間困難（nán），天（tiān）花板之吊（diào）架相（xiàng）當占空間，維（wéi）修更換過濾器較麻（má）煩。

　　3.複合式(Mixed Type)：

　　複合式為將亂流式及層流（liú）式予以複合或並（bìng）用，可（kě）提供局部超潔淨之空（kōng）氣。

　　(1)潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過（guò）濾（lǜ）器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至（zhì）10級以上，可節省安裝（zhuāng）運（yùn）轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和（hé）機器維修予以隔離，以避免機（jī）器維修時（shí）影響了工作及品（pǐn）質，ULSI製（zhì）程大都采用此種型式。

　　潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容（róng）易（yì）; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

　　(2)潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程（chéng）經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之（zhī）潔淨度（dù），可節省能源（yuán），不需人工的自動化生產線為 適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

　　(3)並裝局部潔淨室(Clean Spot)：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨（jìng）室內之（zhī）產品製程區的（de）潔淨度等級提高為10~1000級以上，以為生產（chǎn）之（zhī）用;潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此（cǐ）類（lèi）。

　　潔淨工作台：等級Class 1~100級。

　　潔淨工作棚：為在亂流式之潔淨室空（kōng）間內以防靜電之透明塑（sù）料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米（mǐ）左右，覆蓋麵積約10m2以下，四支支柱並加（jiā）裝活動輪，可為彈（dàn）性運用。